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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

フォーマット:
図書
責任表示:
平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
言語:
日本語
出版情報:
枚方 : イオン工学研究所, 2003.5
形態:
xviii, 1126p ; 27cm
著者名:
平尾, 孝
岩本, 信也
尾浦, 憲治郎
鯉沼, 秀臣
笹部, 馨
松波, 弘之(1939-)
水野, 博之
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書誌ID:
BA63759670
子書誌情報
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所蔵情報
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