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実用超精密加工と計測技術 : ナノテクノロジーの新展開に向けて

フォーマット:
図書
責任表示:
超精密産業技術研究会編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : エヌ・ティー・エス, 2003.10
形態:
viii, 303, viiip ; 27cm
著者名:
書誌ID:
BA63734465
ISBN:
9784860430351 [4860430352]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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